石英管微波等离子发生装置

产品，可用于薄膜材料的制备和等离子体物理等方面的研究工作，并且特别

适宜于大中专学校的材料、化学工程与工艺、物理等专业的学生实验。该装置利用微波能激励稀薄气体放电在石英管中产生稳态等离子体，通过通入不

同的工作气体，可进行功能薄膜材料的制备、化学合成、表面刻蚀、等离子

体诊断等多方面的实验。
1 主要配置

   1.2.45GHz，0~500W微波功率连续可调，可满足不同实验的要求；
   2. ф50mm的石英管真空室，带有一个观察窗和一个诊断窗口，保证各

种实验方便进行；
   3. 石英管采用水冷却，可保证装置在高功率条件下安全运行；
   4. 配置了3路气体管路，气体流量控制方便；
    真空测量系统及控制阀门可保证真空室所需的真空环境。
2 典型实验
    1. 等离子体化学气相沉积
       A（气）+B（气）→ C（固）+D（气）
   反应气体A、B被激发为等离子体状态， 其活性基团发生反应生成所需要

的固态物沉积在基片上，可广泛用于薄膜或纳米材料的合成。如金刚石薄膜

氮化碳薄膜、碳纳米材料等。
   2. 等离子体表面刻蚀
    A（气）+B（固）→ C（气）
   反应气体A 被激发为等离子体状态与固体B表面原子发生反应生成气态物

C，可用于集成电路的刻蚀实验。
   3. 等离子体催化反应
   利用等离子体中丰富的活性成分，如紫外和可见光子、电子、离子、自由

基；高反应性的中性成分，如活性原子，受激原子态，从而引发在常规化学

反应中不能或很难实现的化学反应。
   4. 等离子体表面改性
    A（气）+B（固）→ C（固）
   反应气体A 被激发为等离子体状态与固体B表面发生反应生成新的化合物

从而达到改变B物质表面性质的目的。可广泛用于高分子材料、金属材料及

生物医用材料的表面改性实验。